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XC/3S

XTC/3 带有专利 ModeLock,提供跳模预防功能,确保获得始终如一的质量。使用 XTC/3 薄膜沉积控制器,您可以高度精准地控制沉积速率和厚度,获得几乎适用于所有层的容量,而且控制器安装简便,具有极高可靠性,可确保高生产力。

XTC/3 带有专利 ModeLock,提供跳模预防功能,确保获得始终如一的质量。使用 XTC/3 薄膜沉积控制器,您可以高度精准地控制沉积速率和厚度,获得几乎适用于所有层的容量,而且控制器安装简便,具有极高可靠性,可确保高生产力。

 

产品特点: 

支持 Crystal 12®、Crystal Six® 和双传感器自动晶体转换,从而超大化生产力

  • XTC/3M 多层型号*多支持 99 个过程、999 层薄膜、32 种薄膜材料、2 个传感器和两种源
  • XTC/3S 单层型号*多支持 9 种薄膜、2 个传感器和两种源
  • 易于阅读的 TFT LCD 图形显示器
  • 可以为薄膜和过程分配唯壹的描述性名称,以便于检索
  • 提供以太网连接
  • 独立式(不需要计算机)或便于 PC 操作的可选 Windows® 软件
  • 插拔式替换 INFICON XTC/2 控制器(受限于 XTC/2 功能和命令集)